| 专利名称 | 一种多通道闸板阀 | 申请号 | CN201520110779.2 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN204533648U | 公开（授权）日 | 2015.08.05 | 申请（专利权）人 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 发明（设计）人 | 陈骏;张建阳;杨学明 | 主分类号 | F16K11/065(2006.01)I | IPC主分类号 | F16K11/065(2006.01)I;F16K3/316(2006.01)I;F16K3/314(2006.01)I;F16K51/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种多通道闸板阀 至一种多通道闸板阀 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型涉及高真空或超高真空环境中使用的闸板阀，具体地说是一种多通道闸板阀，包括压片、隔离板、一维驱动器及滑片，隔离板位于真空腔体上，压片安装在隔离板上，滑片容置于压片与隔离板之间，在滑片上沿移动方向均布有多个通孔，隔离板上沿滑片的移动方向均布有多个用于联系其他真空腔体的连接孔；滑片与安装在真空腔体上的一维驱动器相连、通过一维驱动器的驱动往复移动，通过滑片的移动，滑片上任一通孔与隔离板上排序相同的连接孔相连通的同时，隔离板上其他连接孔被滑片遮挡，实现隔离板两边不同真空腔室之间的连通。本实用新型结构简单，实用，具有多通道，可以分别单独使用，也可以全部通道都关闭。 |
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