单脉冲激光动态焦斑位置测量装置

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专利名称 单脉冲激光动态焦斑位置测量装置 申请号 CN201520189970.0 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN204514569U 公开(授权)日 2015.07.29 申请(专利权)人 中国科学院西安光学精密机械研究所 发明(设计)人 董晓娜;赵娟宁;袁索超 主分类号 G01M11/00(2006.01)I IPC主分类号 G01M11/00(2006.01)I 专利有效期 单脉冲激光动态焦斑位置测量装置 至单脉冲激光动态焦斑位置测量装置 法律状态 说明书摘要 本实用新型涉及单脉冲激光动态焦斑位置测量装置,包括待测光学系统、取样镜、标准汇聚透镜、微透镜阵列、CCD探测器及壳体,待测光学系统提供待测光束;取样镜对待测光束进行取样,得到取样光束;标准汇聚透镜对取样光束进行汇聚处理,得到汇聚光束,传输给微透镜阵列;微透镜阵列用于将汇聚光束进行再次汇聚后成像在CCD探测器上;待取样镜、标准汇聚透镜、微透镜阵列和CCD探测器按照光路的传输方向依次封装在壳体内。本实用新型解决了现有测焦斑位置的方法存在测量范围小、稳定性不高的技术问题,整个系统测量精度和范围可调性强。

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