| 专利名称 | 一种测量红外焦平面模块低温形变的装置 | 申请号 | CN201520167953.7 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN204514279U | 公开（授权）日 | 2015.07.29 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明（设计）人 | 张海燕;管建安;庄馥隆;汪洋;陈安森;龚海梅 | 主分类号 | G01B11/16(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/16(2006.01)I | 专利有效期 | 一种测量红外焦平面模块低温形变的装置 至一种测量红外焦平面模块低温形变的装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种测量红外焦平面模块低温形变的装置，该装置包括对窗口有特殊要求的测试杜瓦和激光干涉仪。其方法是把被测样品粘贴于真空杜瓦的冷头上，以激光干涉的方式非接触的获取样品表面形变信息，该实用新型的优点在于测试过程快速，样品温度可控，克服了传统测试方法的样品温度不稳定及表面结霜等固有困难。 |
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