高透光率柔性聚酰亚胺基底ITO导电薄膜及其制备方法与应用

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专利名称 高透光率柔性聚酰亚胺基底ITO导电薄膜及其制备方法与应用 申请号 CN201510102429.6 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN104810114A 公开(授权)日 2015.07.29 申请(专利权)人 中国科学院化学研究所 发明(设计)人 范琳;温钰;杨士勇 主分类号 H01B13/00(2006.01)I IPC主分类号 H01B13/00(2006.01)I;H01B5/14(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I 专利有效期 高透光率柔性聚酰亚胺基底ITO导电薄膜及其制备方法与应用 至高透光率柔性聚酰亚胺基底ITO导电薄膜及其制备方法与应用 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种高透光率柔性聚酰亚胺基底ITO导电薄膜及其制备方法与应用。该导电薄膜利用射频磁控溅射技术,以兼具高透明和高耐热特性的柔性PI薄膜为基底,采用高温两步法沉积ITO导电层制备得到,该导电薄膜兼具低电阻率和高透明性的特点,电阻率低于6.4×10-4Ω·cm,可见光区平均透过率高于80%,且黄度指数小于9,在柔性太阳能电池、柔性显示器、电子书、电子标签、光电传感器等光电器件的制造中具有重要的应用价值。

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