采用双通结构的双腔准分子激光器

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专利名称 采用双通结构的双腔准分子激光器 申请号 CN201420860169.X 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN204497560U 公开(授权)日 2015.07.22 申请(专利权)人 中国科学院光电研究院 发明(设计)人 李慧;赵江山;沙鹏飞;宋兴亮;范元媛;单耀莹;王倩;蔡茜玮;张立佳;崔惠绒;周翊;王宇 主分类号 H01S3/081(2006.01)I IPC主分类号 H01S3/081(2006.01)I;H01S3/082(2006.01)I 专利有效期 采用双通结构的双腔准分子激光器 至采用双通结构的双腔准分子激光器 法律状态 说明书摘要 本实用新型公开了一种采用双通结构的双腔准分子激光器,包括主振荡腔(MO)、线宽压窄模块(LNM)、输出耦合镜(OC)、功率放大腔(PA)、第一高反镜(M1)、PA光路传输模块(1)、PA光路转置模块(2)。主振荡腔(MO)与功率放大腔(PA)在垂直于水平面的方向上放置,PA光路传输模块(1)由三个高反镜组成,PA光路转置模块由双面反射镜组成,由PA光路传输模块(1)入射到功率放大腔(PA)的激光与从(PA)光路转置模块(2)返回的激光位于同一水平面内,且具有一个微小夹角。本实用新型能降低光路对准难度,提高对准精度,还能降低元件的成本,具有结构灵活、散热效果好的优点。

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