一种用于石墨烯生长的载具

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专利名称 一种用于石墨烯生长的载具 申请号 CN201520111940.8 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN204454599U 公开(授权)日 2015.07.08 申请(专利权)人 重庆墨希科技有限公司;中国科学院重庆绿色智能技术研究院 发明(设计)人 于本文;史浩飞;徐鑫;李占成;钟达 主分类号 C01B31/04(2006.01)I IPC主分类号 C01B31/04(2006.01)I 专利有效期 一种用于石墨烯生长的载具 至一种用于石墨烯生长的载具 法律状态 说明书摘要 本实用新型涉及一种用于石墨烯生长的载具,载具包括立方体框架,立方体框架的底端上设有底挡板,立方体框架相对的两个侧面的内侧上均设有侧挡板,两个侧挡板相互朝向的一面上均设有若干均匀排布的侧挡板槽,两个侧挡板上的侧挡板槽分别一一对应,在立方体框架设有侧挡板的两个侧面的顶边上均设有若干固定槽,立方体框架的顶端设有若干横向石英棒,相邻的两个横向石英棒之间设有碳碳复合材料薄板,碳碳复合材料薄板的两侧边分别设在两个侧挡板的侧挡板槽内。将生长基底铺设在碳碳复合材料薄板上,将纵向石英棒依次穿过碳碳复合材料薄板和生长基底后,将生长基底置于载具上,有效防止生长基底粘连,提升炉体加工产能。

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