| 专利名称 | 基于石英音叉的扫描近场光学显微镜成像系统 | 申请号 | CN201510179862.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104777331A | 公开（授权）日 | 2015.07.15 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 杨惠霞;漆晓琼;谢亮 | 主分类号 | G01Q60/18(2010.01)I | IPC主分类号 | G01Q60/18(2010.01)I | 专利有效期 | 基于石英音叉的扫描近场光学显微镜成像系统 至基于石英音叉的扫描近场光学显微镜成像系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种基于石英音叉的扫描近场光学显微镜成像系统，该系统包括：一石英音叉；一压电陶瓷扫描台，所述石英音叉用圆头螺丝固定在压电陶瓷扫描台上；一锁相放大器，其端口1、端口2通过PCB板与石英音叉的两端相连；一光电倍增管，其输入端通过一滤光片组与收集光纤探针相连；一激光器，其输出端与一激发光纤探针相连；一控制箱，其端口与光电倍增管的输出端相连，其端口与锁相放大器的端口3相连，其端口3与压电陶瓷扫描台相连；一电脑，其输入端与控制箱的端口4相连。本发明可以提高现有的近场光学显微镜的灵敏度。 |
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