| 专利名称 | 一种用于转移石墨烯薄膜的生产工装装置 | 申请号 | CN201420776167.2 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN204434289U | 公开（授权）日 | 2015.07.01 | 申请（专利权）人 | 重庆墨希科技有限公司;中国科学院重庆绿色智能技术研究院 | 发明（设计）人 | 钟达;史浩飞;邵丽;张鹏飞;余杰 | 主分类号 | C01B31/04(2006.01)I | IPC主分类号 | C01B31/04(2006.01)I | 专利有效期 | 一种用于转移石墨烯薄膜的生产工装装置 至一种用于转移石墨烯薄膜的生产工装装置 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种用于转移石墨烯薄膜的生产工装装置，包括底板、与底板固定连接的固定柱、下夹具和上夹具；所述下夹具和上夹具用于固定石墨烯薄膜支撑层，所述固定柱上设置有多个凹陷，用于固定下夹具和上夹具。本实用新型能够同时对多个生长有石墨烯薄膜的催化基底进行刻蚀，提高生产效率，同时生产工装装置具有结构简单，易于制造的优点。 |
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