| 专利名称 | 一种光学元件轴向位置精密调整装置 | 申请号 | CN201510131192.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104749734A | 公开（授权）日 | 2015.07.01 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 陈华男;郭抗;倪明阳;李显凌;隋永新;杨怀江 | 主分类号 | G02B7/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B7/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种光学元件轴向位置精密调整装置 至一种光学元件轴向位置精密调整装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明一种光学元件轴向位置精密调整装置，属于深紫外投影光刻物镜结构设计与装调技术领域，解决了现有技术存在容易污染光学元件，稳定性不好，换向机构复杂、加工困难的技术问题；本发明包括光学元件、镜框外框和镜框内框，还包括驱动器、换向块、导向块和轴向位置传感器；所述驱动器包括驱动杆；光学元件在镜框内框上，在镜框内框与镜框外框之间圆周均布多个导向块；在镜框内框与镜框外框之间圆周均布多个换向块；每个换向块配有一个驱动器和一个轴向位置传感器；每个驱动器固定连接在镜框外框的外圆柱面上，且驱动器的驱动杆抵在换向块上，每个轴向位置传感器固定连接在镜框外框上，并与换向块错开一定角度。 |
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