| 专利名称 | 大尺寸平面衍射光栅的复制拼接方法 | 申请号 | CN201510190510.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104749673A | 公开（授权）日 | 2015.07.01 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 张善文;卢禹先;齐向东;李晓天;于海利;于宏柱;巴音贺希格;唐玉国;吉日嘎兰图 | 主分类号 | G02B5/18(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B5/18(2006.01)I | 专利有效期 | 大尺寸平面衍射光栅的复制拼接方法 至大尺寸平面衍射光栅的复制拼接方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 大尺寸平面衍射光栅的复制拼接方法，涉及衍射光栅制作技术领域，解决现有光栅拼接方法需要重复和持续采用高精度控制调整技术，对支架稳定性要求高，并且采用曝光方法时存在调整与锁定系统之间存在漂移误差等问题，利用一块光栅母版，在光栅毛坯的相邻区域分时复制两次；在光栅毛坯的左侧区域复制第一块光栅；在光栅毛坯左侧区域相邻的右侧区域复制第二块光栅；其中，拼接误差检测系统，检测第二块复制光栅和第一块复制光栅存在的拼接误差；误差检测系统检测第二块复制光栅拼接时的两维拼接误差。本发明光栅在使用过程中不需要多维机械调整架实时调整光栅姿态，具有长期保存性；拼接过程中只需要检测存在的两维拼接误差，降低检测和调整的难度。 |
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