| 专利名称 | 一种用于碳污染实验获取EUV辐射的真空隔离滤光装置 | 申请号 | CN201510190428.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104749327A | 公开（授权）日 | 2015.07.01 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 龚学鹏;卢启鹏;彭忠琦;王依 | 主分类号 | G01N33/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N33/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种用于碳污染实验获取EUV辐射的真空隔离滤光装置 至一种用于碳污染实验获取EUV辐射的真空隔离滤光装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种用于碳污染实验获取EUV辐射的真空隔离滤光装置，属于半导体技术领域。解决了现有技术中碳污染实验装置的滤光片易破裂，并且破裂后污染聚焦镜和光源的问题。本发明的装置主要包括过渡真空腔、实验真空腔、真空阀、角阀、第一质谱仪、第二质谱仪、支撑架、横向移动机构和纵向移动机构；其中，横向移动机构由横向直线导轨、弹簧连接杆、真空驱动器、推板和横向拉伸弹簧组成；纵向移动机构由纵向直线导轨、滤光片组件支撑架、多个滤光片组件、纵向拉伸弹簧和真空馈入驱动器组成。本发明装置在滤光片发生破裂时，可以及时阻止污染物进入聚焦腔，防止聚焦镜和光源被污染，并可以在不打开实验真空腔的情况下，切换滤光片。 |
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