| 专利名称 | 微管谐振腔量子阱红外探测器 | 申请号 | CN201510145512.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104733562A | 公开（授权）日 | 2015.06.24 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明（设计）人 | 陆卫;王晗;甄红楼;梅永丰;黄高山;李宁;陈效双;景友亮;李梁;李梦瑶 | 主分类号 | H01L31/101(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L31/101(2006.01)I;H01L31/0304(2006.01)I | 专利有效期 | 微管谐振腔量子阱红外探测器 至微管谐振腔量子阱红外探测器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种微管谐振腔量子阱红外探测器，自下而上依次包括：衬底、缓冲层、牺牲层、金属下电极、金属上电极、螺旋管状的功能薄膜层，其中，螺旋管状功能薄膜层由应力层、下电极层、腐蚀阻挡层、量子阱层、减薄层组成。本发明将量子阱内嵌在微管的管壁中，利用谐振腔的共振原理，将入射光限制在管壁中并沿其传播从而被量子阱吸收。本发明的优点：一、光耦合能力强，能够将入射光限制在管壁中形成共振增强，从而提高量子阱的吸收，改善器件灵敏度和量子效率；二、更宽的探测视角，微管的螺旋结构能够接受180o方向内入射光；三、微管的直径可调性，便于用户设计，简单的腐蚀即可获得不同直径微管以满足器件不同探测波长需求。 |
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