一种远紫外宽带反射滤光片

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专利名称 一种远紫外宽带反射滤光片 申请号 CN201510073129.X 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN104730608A 公开(授权)日 2015.06.24 申请(专利权)人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明(设计)人 王孝东;陈波;王海峰;何飞;刘世界;郑鑫;马月英 主分类号 G02B5/26(2006.01)I IPC主分类号 G02B5/26(2006.01)I 专利有效期 一种远紫外宽带反射滤光片 至一种远紫外宽带反射滤光片 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及一种远紫外宽带反射滤光片,包括:基底和Al/MgF2非周期多层膜;所述Al/MgF2非周期多层膜设置在所述基底上;所述Al/MgF2非周期多层膜由交替设置的Al膜和MgF2膜组成,其中Al膜的光学厚度为L,MgF2膜的光学厚度为H,满足H>L;远离所述基底的最后一层膜为MgF2膜。本发明在不增加光学元件,也不增加额外的加工步骤的基础上,制作Al/MgF2非周期多层膜,通过抑制带外波段反射率,提高广角极光成像仪成像质量。

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