| 专利名称 | 一种远紫外宽带反射滤光片 | 申请号 | CN201510073129.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN104730608A | 公开(授权)日 | 2015.06.24 | 申请(专利权)人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明(设计)人 | 王孝东;陈波;王海峰;何飞;刘世界;郑鑫;马月英 | 主分类号 | G02B5/26(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B5/26(2006.01)I | 专利有效期 | 一种远紫外宽带反射滤光片 至一种远紫外宽带反射滤光片 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种远紫外宽带反射滤光片,包括:基底和Al/MgF2非周期多层膜;所述Al/MgF2非周期多层膜设置在所述基底上;所述Al/MgF2非周期多层膜由交替设置的Al膜和MgF2膜组成,其中Al膜的光学厚度为L,MgF2膜的光学厚度为H,满足H>L;远离所述基底的最后一层膜为MgF2膜。本发明在不增加光学元件,也不增加额外的加工步骤的基础上,制作Al/MgF2非周期多层膜,通过抑制带外波段反射率,提高广角极光成像仪成像质量。 |
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