一种真空紫外激光绝对能量测量装置

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专利名称 一种真空紫外激光绝对能量测量装置 申请号 CN201310691252.9 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN104713642A 公开(授权)日 2015.06.17 申请(专利权)人 中国科学院大连化学物理研究所 发明(设计)人 汪涛;肖春雷;张未卿;吴国荣;戴东旭;杨学明 主分类号 G01J1/42(2006.01)I IPC主分类号 G01J1/42(2006.01)I;G01J11/00(2006.01)I 专利有效期 一种真空紫外激光绝对能量测量装置 至一种真空紫外激光绝对能量测量装置 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及一种能测量真空紫外激光的绝对能量数值的装置,属于光电技术领域。本发明包括密闭容器及其阀门,所述密闭容器中充有目标气体,所述阀门用于控制所述密闭容器的进气量;所述密闭容器中设有:第一杯状电极,通过皮安计连接电源正极;杯状加速电极,中间开孔,开口与所述第一杯状电极的杯口相对;屏蔽桶,接地,为圆柱状,中心轴位置开孔,且孔与所述杯状加速电极的孔相对;第二杯状电极,通过皮安计接地,杯口与所述屏蔽桶的开口相对。本发明可以实时测量真空紫外的绝对能量,是一种完全‘透明’的装置,在测量能量时不影响后端的激光使用,而且对激光的位置漂移有一定的忍耐度。

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