| 专利名称 | 一种用于减缓灯窗表面污染的装置 | 申请号 | CN201310694073.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104716012A | 公开（授权）日 | 2015.06.17 | 申请（专利权）人 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 发明（设计）人 | 李海洋;李金旭;赵无垛;齐国臣;刘巍 | 主分类号 | H01J49/16(2006.01)I | IPC主分类号 | H01J49/16(2006.01)I;H01J49/22(2006.01)I | 专利有效期 | 一种用于减缓灯窗表面污染的装置 至一种用于减缓灯窗表面污染的装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种基于减缓灯窗表面污染的装置，包括灯窗、侧向偏转电极、推斥电极、聚焦电极，skimmer电极。其中，侧向偏转电极是由相对设置的电极A和电极B构成。在VUV灯照射下，进入电离区的样品分子被电离成正离子、负离子和电子。由于聚焦电极和推斥电极上施加有电压，在电场的作用正、负离子分别向skimmer电极和VUV灯窗运动。由于电极A和B上施加有不同的电压，进入偏转电极内部的离子会被偏转到两侧，无法轰击到灯窗表面，从而减缓灯窗表面的污染对灯窗起到了保护作用。 |
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