| 专利名称 | 探针型压力传感器及其制作方法 | 申请号 | CN201310668841.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104713670A | 公开（授权）日 | 2015.06.17 | 申请（专利权）人 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 发明（设计）人 | 樊英民;刘争晖;许耿钊;钟海舰;黄增立;徐科 | 主分类号 | G01L1/25(2006.01)I | IPC主分类号 | G01L1/25(2006.01)I | 专利有效期 | 探针型压力传感器及其制作方法 至探针型压力传感器及其制作方法 | 法律状态 | 著录事项变更 | 说明书摘要 | 本发明提供一种探针型压力传感器及其制作方法，所述探针型压力传感器包括声表面波延迟线及探针，所述声表面波延迟线包括压电衬底和制作在压电衬底上的声表面波发生器及声表面波接收器，所述声表面波发生器与所述声表面波接收器沿声表面波传播方向相对设置，所述探针制作在压电衬底上并设置在声表面波发生器与声表面波接收器之间，在探针受到力的作用的情况下，声表面波延迟线的相位或频率发生变化。本发明探针型压力传感器的优点在于，其能够实现具有微纳米空间分辨率的力的传感，且获得更高的灵敏度和精确度。 |
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