一种玻璃材料气溶胶聚焦气路样气管道及其制作方法

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专利名称 一种玻璃材料气溶胶聚焦气路样气管道及其制作方法 申请号 CN201510130763.2 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN104713815A 公开(授权)日 2015.06.17 申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明(设计)人 赵永凯;卜一川;陈正岩;廖洋;张佩;黄惠杰;程亚 主分类号 G01N15/10(2006.01)I IPC主分类号 G01N15/10(2006.01)I;F16L23/18(2006.01)I;B23K26/00(2014.01)I 专利有效期 一种玻璃材料气溶胶聚焦气路样气管道及其制作方法 至一种玻璃材料气溶胶聚焦气路样气管道及其制作方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种用于单气溶胶粒子实时检测与分析仪器中气溶胶聚焦气路的样气管道,该管道包含玻璃材料的样气管道本体和连接安装法兰,通过公差配合安装定位,压圈固定安装,O型圈或密封胶密封。其中,样气管道外圆由常规光学加工方法加工,内部气路通孔由飞秒激光加工实现,孔径可达微米量级。该样气管道能够满足设计、装校、加工技术要求;加工和残留应力小;同轴度、垂直度、密封性等设计、装校要求易保证;便于查看样气管道污染状况和清洗。

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