| 专利名称 | 一种NiMnX合金靶材的制备方法 | 申请号 | CN201510154558.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104711471A | 公开（授权）日 | 2015.06.17 | 申请（专利权）人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 发明（设计）人 | 孙丹丹;王保敏;李润伟;沈渊 | 主分类号 | C22C30/00(2006.01)I | IPC主分类号 | C22C30/00(2006.01)I;C22C1/04(2006.01)I | 专利有效期 | 一种NiMnX合金靶材的制备方法 至一种NiMnX合金靶材的制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供了一种NiMnX(X＝In、Ga、Sn，其中少量Ni元素可以由Co元素替代)合金靶材的制备方法。该方法将熔炼铸造法与粉末冶金法相结合，首先利用熔炼铸造法制备Ni-Mn-X合金锭，以提高合金密度，并且提高合金纯度，然后将合金锭研磨成合金粉，以提高合金的熔点，最后利用粉末冶金法制备NiMnX合金靶材。与现有技术中单纯采用熔炼铸造法或粉末冶金法制备NiMnX靶材的方法相比，本发明利用了这两种方法的优点，同时有效避免了这两种方法的不足，能够制得具有晶粒小、不易开裂、成分均匀、杂质含量低的高性能合金靶材。 |
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