一种低热噪声高反射光学复合膜结构及其制备方法

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专利名称 一种低热噪声高反射光学复合膜结构及其制备方法 申请号 CN201510141832.X 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN104698519A 公开(授权)日 2015.06.10 申请(专利权)人 中国科学院国家授时中心 发明(设计)人 刘涛;许冠军;董瑞芳;张首刚 主分类号 G02B5/08(2006.01)I IPC主分类号 G02B5/08(2006.01)I;G02B1/10(2015.01)I 专利有效期 一种低热噪声高反射光学复合膜结构及其制备方法 至一种低热噪声高反射光学复合膜结构及其制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种低热噪声高反射光学复合膜结构及其制备方法,该低热噪声高反射光学复合膜结构以超低膨胀光学材料为基底;在基底上镀膜,所述膜由蓝宝石膜层和金刚石膜层交替组成多层膜系,蓝宝石膜层和金刚石膜层之间通过键合或光胶方式结合而成。本发明以蓝宝石和金刚石材料为镀膜层,利用这两种材料具有极低的机械损耗因子,可以大大降低镀膜材料的布朗热噪声,同时蓝宝石和金刚石这两种材料的折射率差距较大,可以形成高低膜层,实现较高的反射率。本发明设计的复合膜可以应用于光学参考腔、光学干涉仪、超窄线宽激光器、光学原子钟、引力波探测等高科技领域。

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