| 专利名称 | 一种低热噪声高反射光学复合膜结构及其制备方法 | 申请号 | CN201510141832.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN104698519A | 公开(授权)日 | 2015.06.10 | 申请(专利权)人 | 中国科学院国家授时中心 | 发明(设计)人 | 刘涛;许冠军;董瑞芳;张首刚 | 主分类号 | G02B5/08(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B5/08(2006.01)I;G02B1/10(2015.01)I | 专利有效期 | 一种低热噪声高反射光学复合膜结构及其制备方法 至一种低热噪声高反射光学复合膜结构及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种低热噪声高反射光学复合膜结构及其制备方法,该低热噪声高反射光学复合膜结构以超低膨胀光学材料为基底;在基底上镀膜,所述膜由蓝宝石膜层和金刚石膜层交替组成多层膜系,蓝宝石膜层和金刚石膜层之间通过键合或光胶方式结合而成。本发明以蓝宝石和金刚石材料为镀膜层,利用这两种材料具有极低的机械损耗因子,可以大大降低镀膜材料的布朗热噪声,同时蓝宝石和金刚石这两种材料的折射率差距较大,可以形成高低膜层,实现较高的反射率。本发明设计的复合膜可以应用于光学参考腔、光学干涉仪、超窄线宽激光器、光学原子钟、引力波探测等高科技领域。 |
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