| 专利名称 | 一种等离子体处理金属表面的实验装置及方法 | 申请号 | CN201510068177.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104694733A | 公开（授权）日 | 2015.06.10 | 申请（专利权）人 | 中国科学院电工研究所 | 发明（设计）人 | 邵涛;周中升;章程;王瑞雪;严萍 | 主分类号 | C21D10/00(2006.01)I | IPC主分类号 | C21D10/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种等离子体处理金属表面的实验装置及方法 至一种等离子体处理金属表面的实验装置及方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种等离子体处理金属表面的实验装置，包括：实验腔，所述实验腔两端分别通过法兰盘A和法兰盘B密封，所述法兰盘A设有进气口，所述法兰盘B设有出气口。所述实验腔顶部经过铜电极A连接高压纳秒脉冲电源阳极，所述实验腔底部经过铜电极B接入地电极；所述高压纳秒脉冲电源阴极接入地电极；脉冲触发器，用以控制所述高压纳秒脉冲电源的触发。本发明还涉及一种使用所述实验装置处理金属表面的方法。本发明实现了将不同大气压下与不同气体成分下的金属处理结合，满足了不同条件下处理的需要，减少了实验成本，缩短了试验时间，提高了实验效率。 |
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