一种振动能量采集器及其形成方法

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专利名称 一种振动能量采集器及其形成方法 申请号 CN201310552855.0 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN104638975A 公开(授权)日 2015.05.20 申请(专利权)人 中国科学院微电子研究所 发明(设计)人 李志刚;欧毅;欧文;陈大鹏;叶甜春 主分类号 H02N2/18(2006.01)I IPC主分类号 H02N2/18(2006.01)I 专利有效期 一种振动能量采集器及其形成方法 至一种振动能量采集器及其形成方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明提供一种振动能量采集器,包括框架、支撑梁、质量块、导体层和压电薄膜;其中:质量块,形成在支撑梁间且与支撑梁为一体结构;支撑梁,形成在框架内且两端悬挂固定于框架上;导体层,形成在质量块、支撑梁以及框架上且相互连通;压电薄膜,形成于支撑梁和质量块的导体层上。本发明的器件在振动中支撑梁发生弯曲变形,弯曲变形是与振幅相关的非线性形变,由于压电薄膜同支撑梁和质量块一同发生非线性形变,使得在较宽的振动频率范围内,器件都可以输出电信号,有效提高了振动能量采集器的性能。

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