| 专利名称 | 一种在五腔体全自动电子束沉积系统中使用的传输系统 | 申请号 | CN201310563039.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104630737A | 公开（授权）日 | 2015.05.20 | 申请（专利权）人 | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 | 发明（设计）人 | 赵科新;赵崇凌;李士军;洪克超;徐宝利;张健;张冬;王磊;李松;林峰雪 | 主分类号 | C23C14/56(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/56(2006.01)I;C23C16/54(2006.01)I | 专利有效期 | 一种在五腔体全自动电子束沉积系统中使用的传输系统 至一种在五腔体全自动电子束沉积系统中使用的传输系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及玻璃、塑料和陶瓷基体上制备各类薄膜的技术领域，具体地说是一种在五腔体全自动电子束沉积系统中使用的传输系统。包括自动传输机构、升降气缸、样品载板及样品架，所述五腔体包括依次相连通的传输腔I、装载腔I、工艺腔、装载腔II及传输腔II，其中装载腔I、工艺腔及装载腔II内均设有升降气缸、样品载板及样品架，所述样品架与电机连接、并通过电机的驱动进行旋转，所述样品载板设置于样品架上，所述升降气缸对样品载板进行提拉或放下，所述自动传输机构携带样品载板在腔体间运动。本发明在产量高的同时，节约工艺腔在每次取换样品载板后的抽气时间，让工艺过程与取放样品载板同时进行。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障