| 专利名称 | 一种TiN/Ti/Si/Ti多层耐磨耐蚀薄膜材料及其制备方法 | 申请号 | CN201310544722.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104630725A | 公开（授权）日 | 2015.05.20 | 申请（专利权）人 | 中国科学院兰州化学物理研究所 | 发明（设计）人 | 王德生;胡明;杨军;刘维民;翁立军;孙嘉奕;伏彦龙;高晓明;姜栋 | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I | 专利有效期 | 一种TiN/Ti/Si/Ti多层耐磨耐蚀薄膜材料及其制备方法 至一种TiN/Ti/Si/Ti多层耐磨耐蚀薄膜材料及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种TiN/Ti/Si/Ti多层耐磨耐蚀薄膜材料及其制备方法。薄膜具有4层结构，从基体材料表面到多层薄膜表面，多层薄膜依次为Ti层、非晶Si层、致密Ti层和TiN层。该薄膜同时具有10GPa以上的硬度和良好的耐腐蚀防护性能。通过加入非晶Si层以及致密Ti层，避免形成贯穿多层薄膜的针孔、微裂纹等组织缺陷，较好地解决了传统TiN薄膜耐腐蚀防护性能差的缺点。该多层薄膜易锈蚀基体材料表面的抗磨损耐腐蚀防护。同时，该薄膜也适用于盐雾、高湿热等易于造成腐蚀侵害的环境条件。 |
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