| 专利名称 | 一种复合钝化膜结构的延伸波长铟镓砷探测器 | 申请号 | CN201420770648.2 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN204332988U | 公开（授权）日 | 2015.05.13 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明（设计）人 | 唐恒敬;邵秀梅;李雪;石铭;杨靖;汤乃云;龚海梅 | 主分类号 | H01L31/08(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L31/08(2006.01)I;H01L31/0304(2006.01)I | 专利有效期 | 一种复合钝化膜结构的延伸波长铟镓砷探测器 至一种复合钝化膜结构的延伸波长铟镓砷探测器 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本专利公开了一种复合钝化膜结构的延伸波长铟镓砷探测器，具体包括：在外延片上刻蚀形成p型微台面；在微台面局部区域上制备P电极区，其上置有覆盖部分微台面的电极互连区，并从微台面上延伸至微台面下；在微台面的一侧有刻蚀至n型缓冲层的N槽，并制备上N电极区。除P和N电极区外，整个外延片上覆盖有复合钝化层。本专利的优点是：Al2O3/SiNx复合钝化膜结构可实现对微台面的有效覆盖，提升侧面钝化效果，降低界面态密度，提升器件的灵敏度；高温退火之后制备Al2O3/SiNx复合钝化膜，避免了In元素的外扩散和薄膜绝缘性能的退化，提高器件的可靠性。 |
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