| 专利名称 | 一种压阻式加速度传感器 | 申请号 | CN201420837962.8 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN204330809U | 公开（授权）日 | 2015.05.13 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;中国电子科技集团公司第四十九研究所 | 发明（设计）人 | 杨恒;周伟;李昕欣;吴紫峰;田雷;海涛;金建东;刘智辉 | 主分类号 | G01P15/12(2006.01)I | IPC主分类号 | G01P15/12(2006.01)I | 专利有效期 | 一种压阻式加速度传感器 至一种压阻式加速度传感器 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型提供一种压阻式加速度传感器，该传感器的改进点在于敏感结构部分，敏感结构中的质量块左右两侧对称设有相互独立的各四个敏感梁，每个敏感梁上设一个力敏电阻；四个敏感梁的两侧各设一个用于支撑质量块的支撑梁，将力敏电阻制作在独立的敏感梁上可减小敏感梁的宽度，从而显著减小敏感梁对结构倔强系数的影响，获得高灵敏度和高优值；敏感梁靠近质量块中线位置，其挠曲较小，可减小旁轴灵敏度。支撑梁靠近质量块边缘，其力臂长，可更好地抑制旁轴加速度引起的质量块扭转。支撑梁上表面较低，表面无氧化层，可减小氧化层应力引起的结构挠曲。敏感梁厚度大于支撑梁，可实现应力集中，从而提高灵敏度和优值。 |
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