| 专利名称 | 用于碲镉汞气相外延生长的多功能石墨舟 | 申请号 | CN201420770619.6 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN204325543U | 公开（授权）日 | 2015.05.13 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明（设计）人 | 王仍;焦翠灵;徐国庆;陆液;张可锋;张莉萍;林杏潮;杜云辰;邵秀华 | 主分类号 | C30B25/12(2006.01)I | IPC主分类号 | C30B25/12(2006.01)I;C30B29/46(2006.01)I | 专利有效期 | 用于碲镉汞气相外延生长的多功能石墨舟 至用于碲镉汞气相外延生长的多功能石墨舟 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本专利公开了一种用于碲镉汞气相外延生长的多功能石磨舟，该石墨舟由石墨底座、石墨盖板、石墨掩片、石墨垫片四本部分组成，石墨掩片和石墨垫片可分别放入石墨底座内，石墨盖板置于石墨掩片和石墨垫片上部，对石墨底座进行密封。该石墨舟可以用于碲镉汞气相外延生长，可以实现多片(衬底尺寸可以控制在10mm*10mm～30mm*30mm)、异型形貌(如长方形、圆形、三角形、环形等)、异型尺寸(各种不规则尺寸衬底)的碲镉汞气相外延生长。为碲镉汞选择区域生长奠定了基础，该方法可以应用于短波、中波和长波碲镉汞等温气相外延领域。 |
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