| 专利名称 | 用于色心单光子收集的透镜的制备方法 | 申请号 | CN201310528972.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN104591077A | 公开(授权)日 | 2015.05.06 | 申请(专利权)人 | 中国科学院物理研究所 | 发明(设计)人 | 顾长志;姜倩晴;李无瑕;潘新宇;刘东奇;刘刚钦;常彦春 | 主分类号 | B81C1/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B81C1/00(2006.01)I | 专利有效期 | 用于色心单光子收集的透镜的制备方法 至用于色心单光子收集的透镜的制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种用于色心单光子收集的透镜的制备方法,包括下列步骤:1)在金刚石块材中定位一个色心的位置;2)使用多组环形粒子束图案组,在所述金刚石块材表面刻蚀出以所述色心为球心的扇状球形表面,其中每组环形粒子束图案组中各环形粒子束图案的环心错开且各环形粒子束图案的内圈半径相等,且各环形粒子束图案的环心均匀分布在一个圆周上,各组环形粒子束图案组的环形粒子束图案的内径逐步缩小直至趋近于0。本发明能够显著提高金刚石单光子源的单光子收集利用效率。本发明的制作工艺简单。本发明能够在聚焦离子束加工设备的精度有限的情况下,使金刚石半球透镜的外形更加平滑,使其单光子收集利用效率更加接近于理论值。 |
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