激光光伏电池及其制作方法

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专利名称 激光光伏电池及其制作方法 申请号 CN201310497211.6 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN104576772A 公开(授权)日 2015.04.29 申请(专利权)人 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 发明(设计)人 赵春雨;董建荣;于淑珍;赵宇;肖燕;赵勇明;李奎龙;孙玉润;曾徐路;杨辉 主分类号 H01L31/0224(2006.01)I IPC主分类号 H01L31/0224(2006.01)I;H01L27/142(2014.01)I;H01L31/18(2006.01)I 专利有效期 激光光伏电池及其制作方法 至激光光伏电池及其制作方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本申请公开了一种激光光伏电池,包括半绝缘衬底以及依次形成于所述半绝缘衬底上的导电层、势垒层、PN结、窗口层和接触层,所述的接触层上形成有上电极,所述的半绝缘衬底沿竖直方向贯穿形成有下电极窗口,下电极窗口与导电层的底面接触,所述导电层暴露于所述下电极窗口内的底面上设有下电极。本发明还公开了一种激光光伏电池的制作方法。本发明在半绝缘衬底背面刻蚀下电极窗口,通过在吸收层下方制作大面积欧姆接触,与传统激光光伏器件中从正面引出下电极的情形相比,由于避免了下电极接触层中电荷的长距离横向传输,减小了器件的串联电阻,提高了电池的性能。

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