空间滤波器的调试装置和调试方法

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专利名称 空间滤波器的调试装置和调试方法 申请号 CN201510031277.5 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN104570380A 公开(授权)日 2015.04.29 申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明(设计)人 朱海东;郭爱林;谢兴龙;朱健强;杨庆伟;高奇 主分类号 G02B27/46(2006.01)I IPC主分类号 G02B27/46(2006.01)I;G02B27/30(2006.01)I;G02B27/62(2006.01)I 专利有效期 空间滤波器的调试装置和调试方法 至空间滤波器的调试装置和调试方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种在真空条件下运行的空间滤波器的调试装置和调试方法,该装置和方法具备结构简单,调整方便,调试精度高等特点,并可利用测量过程中产生的横向剪切干涉条纹对空间滤波器的光学质量进行评估,提升空间滤波器的装校和检测水平,支撑激光驱动器技术研究。

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