一种星形四苯基乙烯衍生物分子玻璃、正性光刻胶、正性光刻胶涂层及其应用

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专利名称 一种星形四苯基乙烯衍生物分子玻璃、正性光刻胶、正性光刻胶涂层及其应用 申请号 CN201310499686.9 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN104557552A 公开(授权)日 2015.04.29 申请(专利权)人 中国科学院理化技术研究所 发明(设计)人 李嫕;郝青山;陈金平;曾毅;于天君 主分类号 C07C69/96(2006.01)I IPC主分类号 C07C69/96(2006.01)I;C07C68/00(2006.01)I;C07C67/31(2006.01)I;C07C69/712(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I 专利有效期 一种星形四苯基乙烯衍生物分子玻璃、正性光刻胶、正性光刻胶涂层及其应用 至一种星形四苯基乙烯衍生物分子玻璃、正性光刻胶、正性光刻胶涂层及其应用 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种星形四苯基乙烯衍生物分子玻璃、正性光刻胶、正性光刻胶涂层及其应用。所述星形四苯基乙烯衍生物分子玻璃,具有如下分子结构:。该分子玻璃合成过程简单,适用于工业化生产,四苯基乙烯具有刚性结构的空间立体几何骨架,可以有效地抑制分子的结晶,易于成膜,该分子玻璃在各种极性溶剂中均有好的溶解性,且具有玻璃化温度高,热稳定性好的特点,能够更好的满足光刻工艺的要求。采用旋涂法(Spin?Coating)可制得良好的薄膜,可作为光刻胶与其他的添加剂配合制成正性光刻胶用于光刻。

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