| 专利名称 | 无线无源非侵入式MEMS眼压传感器及其制作方法 | 申请号 | CN201510065578.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104545794A | 公开（授权）日 | 2015.04.29 | 申请（专利权）人 | 中国科学院电子学研究所 | 发明（设计）人 | 王军波;刘丽娟;陈德勇 | 主分类号 | A61B3/16(2006.01)I | IPC主分类号 | A61B3/16(2006.01)I | 专利有效期 | 无线无源非侵入式MEMS眼压传感器及其制作方法 至无线无源非侵入式MEMS眼压传感器及其制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种非侵入式无线无源眼压传感器及其制作方法，所述眼压传感器包括：柔性衬底层、第一电极层、中间层、第二电极层和柔性衬底层，且所述中间层的一部分构成所述中央电容的介电层，所述第一电极层和第二电极层的对应部分构成所述中央电容的极板；所述柔性衬底层选用ParyleneC薄膜制作，所述中间层采用PDMS材料制作。本发明的整套工艺简单易行；采用额外的边缘电容实现电容与电感的串联，结构简单；传感器电极制作简单，所制备的电极电阻率低，有利于获取较高的品质因数，提高检测信号的信噪比。 |
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