| 专利名称 | 一种电热致动器及其形成方法 | 申请号 | CN201510020763.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104538544A | 公开（授权）日 | 2015.04.22 | 申请（专利权）人 | 中国科学技术大学 | 发明（设计）人 | 孟超;黄璞;周经纬;杜江峰 | 主分类号 | H01L41/08(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L41/08(2006.01)I;H01L41/332(2013.01)I | 专利有效期 | 一种电热致动器及其形成方法 至一种电热致动器及其形成方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本申请公开了一种电热致动器及其形成方法，在SOI的预设区域上蒸镀金属层，采用标准的半导体加工技术，将SOI的顶层硅加工成V字型结构的电热致动器，V字型结构的两端固定，V字型结构的内角部分与纳米线的固定端相对的活动端连接，且与纳米线一体成型。给电热致动器表面金属通电流，电流产生焦耳热使电热致动器温度升高产生热膨胀，由于电热致动器的两端固定，这样膨胀就会使得其尖端有平行于结构平面向外的移动，由此产生的位移与力将电热致动器和纳米线拉断形成一个裂结。通过在一个SOI加工多个电热致动器，然后对这多个电热致动器的表面金属同时通电流，就可以在一次实验中形成多个裂结，从而解决了量产过程时间浪费的问题。 |
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