一种高精度压力驱动装置

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专利名称 一种高精度压力驱动装置 申请号 CN201510001927.1 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN104539188A 公开(授权)日 2015.04.22 申请(专利权)人 中国科学院光电技术研究所 发明(设计)人 李云;付韬韬;王安定;谢伟民;邢廷文 主分类号 H02N2/02(2006.01)I IPC主分类号 H02N2/02(2006.01)I;H02N2/04(2006.01)I 专利有效期 一种高精度压力驱动装置 至一种高精度压力驱动装置 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及一种高精度压力驱动装置,所述装置包括压电陶瓷(1)、方向导槽(2)、弹性簧片(3)、微位移探测器(4)和安装底座(5),其中压电陶瓷放置于方向导槽中,方向导槽上端存在一个开孔,压电陶瓷的上端可从开孔中部分伸出,方向导槽下端也存在一个开孔,用于与安装底座连接。压电陶瓷的作用在于实现超微量超快速的位移动作;弹性簧片的作用在于承受压电陶瓷的作用力,并产生相应的弹性形变。所述装置可在作用力输出端存在不断变化的微小位移的情形下,精确快速地输出恒定的作用力。由于本发明装置的直接输出为作用力,且物体形变与作用力成线性关系,因而本装置能够对被控制面进行线性控制,更准确地控制面形。

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