| 专利名称 | 成像椭偏仪的系统参数校准方法 | 申请号 | CN201410810540.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104535500A | 公开（授权）日 | 2015.04.22 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 曾爱军;胡仕玉;袁乔;顾帅妍;谷利元;黄惠杰;贺洪波 | 主分类号 | G01N21/21(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N21/21(2006.01)I | 专利有效期 | 成像椭偏仪的系统参数校准方法 至成像椭偏仪的系统参数校准方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种成像椭偏仪系统参数的校准方法，可校准成像椭偏仪的系统参数，包括起偏器的偏振方向、检偏器的偏振方向、左右光栅尺的原点位置。该校准方法过程简单、准确，重复性高。校准完成后，无需调整系统部件即可直接测量，从而简化测量过程、提高测量精度。 |
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