| 专利名称 | 光学超宽带增透膜的复合制作方法 | 申请号 | CN201510010517.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104536064A | 公开（授权）日 | 2015.04.22 | 申请（专利权）人 | 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 | 发明（设计）人 | 王晋峰;王烨儒;田杰 | 主分类号 | G02B1/115(2015.01)I | IPC主分类号 | G02B1/115(2015.01)I;C23C14/24(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I | 专利有效期 | 光学超宽带增透膜的复合制作方法 至光学超宽带增透膜的复合制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 超宽带增透膜复合工艺方法，包括真空蒸镀成膜与溶胶凝胶成膜；真空蒸镀成膜工艺：准备工作，清洁真空室内所有相关器具并放入光学镜片和加入膜料；抽真空；预热膜料；将膜料气化沉积到所述光学镜片表面；烘烤60分钟；进行氟化镁层蒸镀；在同样烘烤温度下进行氧化铝层的蒸镀，蒸镀的膜层厚度为4纳米；步骤⑴-⑹为真空蒸镀成膜工艺；步骤⑺-⑽为溶胶凝胶成膜工艺。本发明减少了宽带增透膜的膜层数，拓宽了现有宽带增透膜的带宽区域。通过镀膜后处理工艺，膜层具有良好的疏水性和自清洁性能，有很好的环境适应性。采用本发明的复合成膜方法，在300nm-1000nm波段范围平均透过率可达98.5%。 |
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