一种多光束同轴检测与调整方法

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专利名称 一种多光束同轴检测与调整方法 申请号 CN201410727655.9 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN104535296A 公开(授权)日 2015.04.22 申请(专利权)人 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 发明(设计)人 杨皓旻;张运海 主分类号 G01M11/00(2006.01)I IPC主分类号 G01M11/00(2006.01)I 专利有效期 一种多光束同轴检测与调整方法 至一种多光束同轴检测与调整方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种多光束同轴度的调整方法,步骤1)通过在多个激光光源的光路上设置若干个反射镜或分束器,使得所述多个激光光源发出的光合并为一束肉眼无法区分开的光线;步骤2)选取一个能够反射激光的颗粒物,该颗粒物中每个颗粒的粒径小于所述的一束肉眼无法区分开的光线的光斑直径;步骤3)利用激光扫描共聚焦显微镜中自带的成像装置,将所述的一束肉眼无法区分开的光线对所述颗粒物进行扫描成像;步骤4)若得到的图像含有重影,则判定所述的一束肉眼无法区分开的光线不是一束同轴的光线,调节所述反射镜或分束器,回到步骤3);若得到的图像没有重影,则判定所述的一束肉眼无法区分开的光线是一束同轴的光线,调整结束。

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