| 专利名称 | 双谐振器压力传感器的温度自补偿方法和测量方式 | 申请号 | CN201510014644.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104535251A | 公开（授权）日 | 2015.04.22 | 申请（专利权）人 | 中国科学院电子学研究所 | 发明（设计）人 | 王军波;李忆南;陈德勇;谢波 | 主分类号 | G01L9/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G01L9/00(2006.01)I | 专利有效期 | 双谐振器压力传感器的温度自补偿方法和测量方式 至双谐振器压力传感器的温度自补偿方法和测量方式 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供了一种双谐振器压力传感器的温度自补偿方法和测量方式。该温度自补偿方法包括：在预设温度范围内，选定m个温度标定点；在预设压力范围内，选定n个压力标定点；分别在每个温度标定点、每个压力标定点下测量两谐振器的频率，分别测试得到第一谐振器的频率f1和第二谐振器的频率f2，共得到m×n组标定数据；以及利用上述m×n组标定数据，采用二元函数拟合法得到双谐振器压力传感器的压力函数G1的表达式，即p＝G1(f1，f2)。本发明通过测量两个谐振梁的频率进行温度自补偿，无需外部温度敏感元件，可以克服温度场分布不确定导致的温度测量不准确的问题，提高补偿精度。 |
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