| 专利名称 | 一种移相干涉检测振动抑制方法 | 申请号 | CN201410838076.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104534978A | 公开（授权）日 | 2015.04.22 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 于杰;张海涛;马冬梅;金春水 | 主分类号 | G01B9/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B9/02(2006.01)I;G01J9/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种移相干涉检测振动抑制方法 至一种移相干涉检测振动抑制方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 |
一种移相干涉检测振动抑制方法，属于光学检测领域，为了提高干涉检测的重复性、复现性和精度，该方法为：步骤1，利用移相干涉仪采集一组N幅移相干涉图，N大于等于3，采用N步移相相位提取算法计算相位分布Ф1；步骤2，利用移相干涉仪自身的移相器，调整干涉腔的腔长，使得腔长变化λ/8，待干涉仪稳定后采集一组干涉图，干涉图的数量与移相间隔与步骤1中的一致，采用与步骤1相同的算法计算出被测相位Ф2；同样步骤3和步骤4分别计算出被测相位Ф3和被测相位Ф4；步骤5，对步骤1、2、3和4获得的4次测量结果进行像素对像素的相位平均，计算得到平均相位；步骤6，利用公式 |
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