| 专利名称 | 一种离子束抛光设备中的工件夹具 | 申请号 | CN201510002041.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104526499A | 公开（授权）日 | 2015.04.22 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 付韬韬;李云;王安定 | 主分类号 | B24B13/005(2006.01)I | IPC主分类号 | B24B13/005(2006.01)I | 专利有效期 | 一种离子束抛光设备中的工件夹具 至一种离子束抛光设备中的工件夹具 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种离子束抛光设备中的工件夹具，包括圆形基准盘，夹爪以及粗调和微调机构组成。圆形基准盘下表面具有以基准盘同心的若干同心圆刻度，作为粗调的基准，夹爪可以通过粗调机构和微调机构驱动在基准盘上径向移动，在装夹工件的同时，确保工件中心和装夹盘中心对齐，实现工件的精确定位装夹。本发明的工件夹具操作方便快捷的优点，可实现工件的快速装夹，大幅提高设备的加工效率。 |
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