测量大直径圆环面平面度的装置及方法

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专利名称 测量大直径圆环面平面度的装置及方法 申请号 CN201410788237.0 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN104515481A 公开(授权)日 2015.04.15 申请(专利权)人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明(设计)人 陈宝刚;张景旭;吴小霞;徐伟;张岩 主分类号 G01B11/30(2006.01)I IPC主分类号 G01B11/30(2006.01)I 专利有效期 测量大直径圆环面平面度的装置及方法 至测量大直径圆环面平面度的装置及方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 测量大直径圆环面平面度的装置及方法,涉及机械加工装调检测领域的测量技术,解决现有圆环平面度的测量装置存在结构复杂和使用受限的问题,现在测量方法由于存在测量精度低而导致测量误差大等问题,包括精密转台、内调焦光管、光纤点光源、转台调平机构、测杆和CCD探测器。本方法首先利用内调焦光管把光纤点光源成像在被测圆环面上方,精密转台带动点光源的像点旋转在空间画圆,然后以此圆所在的平面为基准,用CCD探测器接收点光源像点,根据脱靶量测出被测点与基准平面的距离,最后通过数据处理计算即可得到被测圆环面的平面度。本发明测量精度高,数据处理简单,操作方便,效率高,成本低;本发明适用于大尺寸圆环件平面度的检测。

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