白光干涉仪干涉条纹展宽方法

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专利名称 白光干涉仪干涉条纹展宽方法 申请号 CN201410788280.7 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN104515482A 公开(授权)日 2015.04.15 申请(专利权)人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明(设计)人 王绍治;刘健;隋永新;杨怀江 主分类号 G01B11/30(2006.01)I IPC主分类号 G01B11/30(2006.01)I 专利有效期 白光干涉仪干涉条纹展宽方法 至白光干涉仪干涉条纹展宽方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 白光干涉仪干涉条纹展宽方法,涉及光学检测领域中的一种干涉条纹展宽方法。本发明的目的在于提供一种白光干涉仪的自动条纹展宽方法,在提高测量效率的同时,降低操作难度与工作量。该方法实施步骤为:首先调节白光干涉仪至条纹出现在屏幕中心处;然后计算屏幕四个子区域的条纹强度;计算两个条纹较强子区域的条纹方向;通过两区域中心沿各自条纹方向作虚拟直线并计算交点屏幕坐标;将该屏幕坐标转换为实际位置偏移,并根据元件曲率半径控制镜头摆动角度;重复以上过程直至条纹满足测量要求。本方法采用图像处理技术,不需外加传感器,计算简单,调节周期短,对于一般情况条纹,经过3~5次调节即可满足测量要求。

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