一种分体式超精密空气静压单轴转台

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专利名称 一种分体式超精密空气静压单轴转台 申请号 CN201420631846.0 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN204254186U 公开(授权)日 2015.04.08 申请(专利权)人 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 发明(设计)人 顾国刚;钟君 主分类号 F16M11/08(2006.01)I IPC主分类号 F16M11/08(2006.01)I;F16M7/00(2006.01)I;F16C32/06(2006.01)I 专利有效期 一种分体式超精密空气静压单轴转台 至一种分体式超精密空气静压单轴转台 法律状态 授权 说明书摘要 本实用新型是一种分体式超精密空气静压单轴转台,包括转台回转轴系、驱动轴系和工作台面,还包括有空气静压联轴节,所述驱动轴系通过空气静压联轴节连接并驱动转台回转轴系,所述工作台面同轴固接在转台回转轴系上,所述驱动轴系内设置有密珠轴承,所述密珠轴承的轴孔与驱动电机同轴固接,所述空气静压联轴节与密珠轴承的同轴固接,所述转台回转轴系内设置有径向空气静压轴承,所述径向空气静压轴承与空气静压联轴节同轴固接,在所述空气静压轴承的轴孔端面处同轴设置有止推空气静压轴承。采用本实用新型技术方案,安装精度要求降低,装调工艺简化,转台的回转精度和平面定位精度高,空气静压联轴节具有自动微调能力,运动精度高。

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