覆铜板的蚀刻设备及覆铜板的蚀刻系统

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专利名称 覆铜板的蚀刻设备及覆铜板的蚀刻系统 申请号 CN201420627332.8 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN204259285U 公开(授权)日 2015.04.08 申请(专利权)人 中国科学院深圳先进技术研究院 发明(设计)人 于淑会;郭欧平;罗遂斌;孙蓉 主分类号 H05K3/06(2006.01)I IPC主分类号 H05K3/06(2006.01)I 专利有效期 覆铜板的蚀刻设备及覆铜板的蚀刻系统 至覆铜板的蚀刻设备及覆铜板的蚀刻系统 法律状态 说明书摘要 本实用新型涉及一种覆铜板的蚀刻设备及覆铜板的蚀刻系统。该覆铜板的蚀刻设备,包括:图形蚀刻框,包括内框与外框,外框套设于内框外,且外框与内框之间存在间隙,外框与内框用于承载待蚀刻覆铜板的一端为图形蚀刻框的承载端,间隙为图形蚀刻框的蚀刻区;喷淋件,包括喷淋器,喷淋器的喷头设于蚀刻区内;固定件,包括抽真空装置及与抽真空装置连接的气管,气管的数目为多条,若干条气管远离抽真空装置的一端穿设于内框上,若干条气管远离抽真空装置的一端穿设于外框上,多条气管用于除去待蚀刻覆铜板与承载端接触处的气体。使用上述覆铜板的蚀刻设备可以得到较高的产品良率。

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