| 专利名称 | 一种组合式等离子体片的产生装置 | 申请号 | CN201410850782.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104507248A | 公开（授权）日 | 2015.04.08 | 申请（专利权）人 | 中国科学院空间科学与应用研究中心 | 发明（设计）人 | 孙海龙;夏俊明;霍文青;徐跃民;孙简 | 主分类号 | H05H1/24(2006.01)I | IPC主分类号 | H05H1/24(2006.01)I | 专利有效期 | 一种组合式等离子体片的产生装置 至一种组合式等离子体片的产生装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供了一种组合式等离子体片的产生装置，包括：阳极板(1)、组合式空心阴极(4)、真空放电腔体(2)和套设于该真空放电腔体(2)外的亥姆霍兹线圈(3)；所述的组合式空心阴极(4)与阳极板(1)相对、平行的设置于真空放电腔体(2)内；该组合式空心阴极(4)包括若干凹槽形阴极(5)和阴极顶板(6)；所有凹槽形阴极(5)均排列于阴极顶板(6)的下方，并通过水平移动凹槽形阴极(5)调节其生成的等离子体片(7)的位置。该装置能够同时产生多片的大面积、高密度等离子体片，除增加凹槽形阴极的数量外，不需增加额外设备，即可根据需要控制生成不同数量及位置的等离子体片组合。 |
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