| 专利名称 | 采用非球面单透镜作为准直结构的光栅曝光系统 | 申请号 | CN201410833080.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104483725A | 公开（授权）日 | 2015.04.01 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 高明辉;郑玉权;陈伟 | 主分类号 | G02B3/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B3/02(2006.01)I;G02B5/18(2006.01)I | 专利有效期 | 采用非球面单透镜作为准直结构的光栅曝光系统 至采用非球面单透镜作为准直结构的光栅曝光系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 |
采用非球面单透镜作为准直结构的光栅曝光系统，属于新型光学准直结构应用技术领域，为了解决现有光栅曝光系统无法满足曝光系统的精度要求问题，激光束投射到分光器，形成两束有一定角度的相干平行光，两束光分别两套完全相同的装置，其中一束光经过反射镜进入空间滤波器，去掉光学干扰后再进入准直结构，形成准直光后入射到光栅基底上，由于是两束相干平行光，它们在相干长度范围内相遇，产生出稳定的干涉条纹，将干涉条纹记录到光栅基底上；其特征是，所述准直结构为非球面单透镜，该非球面单透镜一面为非球面，另一面为平面，非球面满足下式 |
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