| 专利名称 | 一种重复可调式的镀膜仿面形工装 | 申请号 | CN201410838053.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104480449A | 公开（授权）日 | 2015.04.01 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 武潇野;时光;才玺坤;梅林;张立超;隋永新;杨怀江 | 主分类号 | C23C14/50(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/50(2006.01)I;G02B1/10(2015.01)I | 专利有效期 | 一种重复可调式的镀膜仿面形工装 至一种重复可调式的镀膜仿面形工装 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种重复可调式的镀膜仿面形工装，属于光学镀膜领域，解决了现有技术仿面形夹具难以模拟多种曲率半径和不同口径的镀膜基片，在反复的加热、镀膜过程中，容易发生变形的技术问题；本发明包括行星盘、多个可调式镜座和镀膜基片；多个可调式镜座通过螺杆和螺母的连接方式从行星盘中央以螺旋放射状排列，镀膜基片在可调式镜座上；本发明对大口径曲面元件进行模拟仿面形镀膜实验中，能够自由选择所模拟面形的曲率半径和镀膜口径，一套本工装能够模拟任意口径和曲率半径的曲面面形，重复使用节约了工装成本；由于每个镜座的角度都是能够调节的，因此有效地避免了由于旋转、加热等导致的工装变形。 |
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