| 专利名称 | 具有纯化母液功能的双衬底槽液相外延石墨舟 | 申请号 | CN201420597065.4 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN204224738U | 公开（授权）日 | 2015.03.25 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明（设计）人 | 王洋;胡淑红;吕英飞;戴宁 | 主分类号 | C30B19/06(2006.01)I | IPC主分类号 | C30B19/06(2006.01)I | 专利有效期 | 具有纯化母液功能的双衬底槽液相外延石墨舟 至具有纯化母液功能的双衬底槽液相外延石墨舟 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本专利公开了一种具有纯化母液功能的双衬底槽液相外延石墨舟，该石墨舟包括盖板、母液槽、双衬底槽滑板和主体槽，在双衬底槽滑板上有两个相邻的衬底槽A和B，按滑板移动方向，前一个衬底槽A装牺牲片,后一个衬底槽B装生长片，牺牲片用于纯化母液，生长片用于生长外延薄膜。本专利的优点在于：这种独有的双衬底槽石墨舟通过牺牲片纯化母液的手段，将有效降低母液中杂质对外延薄膜的影响，从而达到降低外延薄膜中的载流子浓度，提高外延薄膜的电学性能的目的。 |
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