一种铕掺杂的硼酸钇薄膜的厚度调控方法

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专利名称 一种铕掺杂的硼酸钇薄膜的厚度调控方法 申请号 CN201410684988.8 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN104449717A 公开(授权)日 2015.03.25 申请(专利权)人 中国科学院青海盐湖研究所 发明(设计)人 年洪恩;周园;吴志坚;孙庆国;李翔;申月;海春喜;任秀峰;曾金波;董欧阳;云强;李松;张立娟 主分类号 C09K11/78(2006.01)I IPC主分类号 C09K11/78(2006.01)I 专利有效期 一种铕掺杂的硼酸钇薄膜的厚度调控方法 至一种铕掺杂的硼酸钇薄膜的厚度调控方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种铕掺杂的硼酸钇薄膜的厚度调控方法,包括:1)将水溶性钇盐、氧化铕、氨水、醇和水混合;2)向步骤1)得到的混合物中加入硼源,所述硼源为硼酸或硼酸酯;3)步骤2)得到的混合物反应24~48h;4)使用浸渍提拉法对硅底片进行镀膜,镀膜速度为0.88~1.52mm/s,镀膜后置于马弗炉中进行200~600℃煅烧;此过程反复1-6次;5)薄膜达到预期厚度后置于1000℃以下进行退火,得到YBO3:Eu3+薄膜,所述预期厚度为10~100nm。本发明的优点在于:溶胶-凝胶浸渍提拉镀膜法制备YBO3:Eu3+纳米材料,具有厚度可控和特殊形貌的优势。

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