| 专利名称 | 一种超导强磁场磁控溅射阴极的低温冷却系统 | 申请号 | CN201410766299.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104465283A | 公开（授权）日 | 2015.03.25 | 申请（专利权）人 | 中国科学院电工研究所 | 发明（设计）人 | 邱清泉;屈飞;宋乃浩;张志丰;古宏伟;张国民;戴少涛;肖立业 | 主分类号 | H01J37/07(2006.01)I | IPC主分类号 | H01J37/07(2006.01)I;H01J37/34(2006.01)I | 专利有效期 | 一种超导强磁场磁控溅射阴极的低温冷却系统 至一种超导强磁场磁控溅射阴极的低温冷却系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种超导强磁场磁控溅射阴极的低温冷却系统，由两个液氮存储杜瓦(1、5)、增压阀(2、6)、放气阀(3、7)、第一输液管道(4-1)和第一输液杆(4-2)、第二输液管道(8-1)和第二输液杆(8-2)、真空腔体(9)、磁体杜瓦上盖(10)，以及磁体杜瓦底座(11)组成。超导磁体(12)、外磁轭(13)、内磁轭(14)和底磁轭(15)安装在由磁体杜瓦上盖(10)和磁体杜瓦底座(11)所包围的密闭空间中，磁体杜瓦上盖(10)与阴极靶材(16)固定在一起，之间留有部分真空间隙(17)。超导磁体(12)由液氮迫流冷却；两个液氮存储杜瓦(1、5)交替工作，实现超导磁体(12)和阴极靶材(16)的冷却。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障