一种高精度、间距可控电极及其制备方法

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专利名称 一种高精度、间距可控电极及其制备方法 申请号 CN201410725859.9 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN104464956A 公开(授权)日 2015.03.25 申请(专利权)人 中国科学院化学研究所 发明(设计)人 张兴业;宋延林 主分类号 H01B13/00(2006.01)I IPC主分类号 H01B13/00(2006.01)I 专利有效期 一种高精度、间距可控电极及其制备方法 至一种高精度、间距可控电极及其制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明提供了一种高精度、间距可控电极及其制备方法。该方法首先设计制备表面由高表面能区和低表面能区相间排列的基材,将含有导电填料的溶液或乳液铺满基材的高表面能区,然后进行蒸发扩散,随着溶剂的挥发,自由扩散的导电填料富集排列在高表面能区临近低表面能区的边界区域,低表面能区作为堤坝控制了液滴的进一步扩散,扩散排列的导电填料经过加热或光子烧结固化后,形成间距可控的高精度电极,其间距由高表面能区宽度控制。本发明制备得到的高精度、间距可控电极在制备透明导电膜、高端传感器、晶体管、存储器、电容器等器件的高精度电极方面具有重要的应用。

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